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半導体にピョンと飛び込む|Semiconductor industry related news
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ASMLのEUV露光システムの解説動画。 💡 まず、前方のコータデベロッパーでフォトレジストを塗布。この部分は東京エレクトロンが強い。そこに連結されるのが、ASMLのEUV露光装置。 ウェーハの装置内部での動きが分かりやすく可視化されていて良き!
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